基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器----外文翻译（原文+译文）.rar

摘 要
研究了一种基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器。该传感器的敏感环境中，可同时获得敏感膜电导率和质量变化，测量被测气体分子的荷质比，具有高灵敏度和高选择性。根据这一原理，针对气体传感器的需求，设计了硅悬臂梁谐振器化学传感器结构，进行了仿真优化，并采用MEMS表面牺牲层工艺制备该器件，激光频率仪测量验证了该微型谐振梁的谐振频率。
关键词：MEMS；气体传感器；荷质比；牺牲层工艺
1. 引言
微气体传感器在化学气相检测和应用方面有着很大的潜力，现在有很多研究都旨在改善微型传感器的化学选择性差和识别选择性差等弊端。传统传感器通过测量谐振电导和频率来检测气体。由于可以通过荷质比来确定来确定原子，所以我们计划通关过测量气体分子荷质比来达到气体检测的高选择性，因此我们设计了一种能够都是测量气体分子的电荷和质量的传感器。经过传感器的气体被气体敏感膜吸收后，通过测量气体敏感膜的电导率和谐振器的转换频率就能够获得气体的电荷和质量。