运动学机构，运动学设计_外文翻译.rar

包括英文原文和中文翻译，含详细作者及出处信息，其中中文7500多字

一种新型综合的多轴配置并联运动学机构第1部分.关于制作的运动学设计

摘要
多轴微型和配置系统正越来越多地用于大部分的计量和工艺设备相关领域纳米科技。这一点，首要的一个由两部分组成的系列文章对一种新型的压电陶瓷驱动，平行运动轴XYZ维的配置（ pkxyznp ） 现阶段，专注于发展一个可行的计划，以实现抽象的空间转化。第一，这个机械装置是容纳了两个封闭形式解决方案;正向和反向运动学的问题。雅可比与动力系统表明，该机械结构产生相关的比较大的工作量，并且能将高带宽和均匀性融合交叉。制备系统描述随着的一些基本测试，其雅可比及其模态频率。用电容计，这样的步骤是能产生85_m 左右的运动并沿每个轴分辨率约为2-4 nm左右。控制测试以及性能表现用来详细讨论相似的文件。

关键词：纳米;平行运动学;柔性阶段;运动学分析;步骤设计